Método de calentamiento dentro de 40 ℃ adopta un compresor de calefacción de gas caliente diseño totalmente cerrado, y la máquina funciona continuamente durante 24 horas

Garantizar la estabilidad y fiabilidad del flujo global del proceso de semiconductores, desde el front-end hasta el back-end.

Descripción del producto

El dispositivo de control de temperatura de semiconductores Chiller se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en los procesos de producción y ensayo de semiconductores. Sus productos incluyen el control de temperatura de líquidos fluorados (mínimo -100 grados), el cambio rápido de temperatura de refrigeración y calefacción de gas, el mandril de cambio rápido de temperatura, la máquina de refrigeración de gas a baja temperatura (-120 grados), la unidad de refrigeración directa (-150 grados), etc. La empresa aplica varios algoritmos (PID, PID feedforward y algoritmo de árbol autoconstruido sin modelo) en el sistema para lograr una respuesta rápida y una alta precisión de control.

La información importante, como la temperatura (presión) de escape y aspiración, la temperatura de condensación, la temperatura (presión) del agua de refrigeración, la temperatura (presión) del líquido (gas) de entrada y salida, la potencia eléctrica, la corriente y la tensión de cada componente, y el nivel del depósito de agua de la enfriadora, se gestionan, supervisan y registran de forma exhaustiva mediante sensores conectados al sistema de control.

El método de calefacción dentro de 40 ℃ adopta la calefacción de gas caliente del compresor.

El sistema de circulación del enfriador adopta un diseño totalmente cerrado, y la bomba de circulación adopta una bomba de accionamiento magnético.

Pruebas de helio del enfriador 100%, pruebas de las normas de seguridad 100% para garantizar la seguridad y fiabilidad del sistema.

El refrigerador hace funcionar la copiadora de forma continua durante 24 horas a 100%.

enfriadores que controlan la temperatura de procesamiento en los equipos Fab

Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.

Detalles de configuración

Modelo	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
Control de temperatura	5℃～90℃
Precisión de la temperatura	±0.05℃
Control del caudal	10～25L/min 5bar máx.		15～45L/min 6bar máx.			25～75L/min 6bar máx.
Capacidad de refrigeración@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
Volumen de líquido de circulación interna	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Capacidad del depósito de expansión	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R410A
Refrigerante secundario	Aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, DI, etc. (la temperatura del DI debe controlarse por encima de 10 ℃).
Interfaces de entrada y salida	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Salida de agua de refrigeración	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Caudal de agua de refrigeración@20℃	1,5 m³/h	2 m³/h	2,5 m³/h	4 m³/h	4,5 m³/h	5,6 m³/h	9 m³/h
alimentación 380V	3,5 kW	4kW	5,5 kW	7kW	9,5 kW	12kW	16 kW
Ampliación de la temperatura	Mediante la adición de un calentador eléctrico, ampliar el rango de temperatura de -25 ℃ a 80 ℃.

Modelo	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
Rango de temperatura	-25℃～90℃
Precisión del control de temperatura	±0.05℃
Control de caudal	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Control de caudal	El control del caudal se ajusta mediante un convertidor de frecuencia, y la presión máxima de la bomba de circulación es de 5 bares.
Refrigeración @-15℃	2kw	3kw	3,8 kW	6kw	7,6 kW	10kw	15kw
Circulación interna Volumen de fluido	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volumen del depósito de expansión	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
refrigerante	R404A
Refrigerante secundario	Agua, aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, etc.
Interfaz de entrada y salida	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Conexión de agua de refrigeración	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Caudal de agua de refrigeración@20℃	1,2 m³/H	1,6 m³/H	2,6 m³/H	3,6 m³/H	5,5 m³/H	7 m³/H	10,2 m³/H
Potencia 380 V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Temp Expansión	Añadiendo un calentador eléctrico, puede ampliarse hasta -25℃~80℃.

Modelo	FLTZ-402FLTZ-402W	FLTZ-403FLTZ-403W	FLTZ-404FLTZ-404W	FLTZ-406FLTZ-406W	FLTZ-408FLTZ-408W	FLTZ-410FLTZ-410W	FLTZ-415FLTZ-415W
Control de temperatura	-45℃～90℃
Precisión del control de temperatura	±0.05℃
Control de caudal	10～25L/min 5bar máx.		15～45L/min 6bar máx.			25～75L/min 6bar máx.
Calefacción	El calentamiento del compresor se utiliza para evitar la tecnología de congelación del condensador
Capacidad de refrigeración @-35℃	1kw	1,4 kW	1,8 kW	2,5 kW	3,3 kW	5kw	8kw
Volumen del fluido circulatorio interno	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volumen del depósito de expansión	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R404A
Refrigerante secundario	Agua, aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, etc.
Interfaz de entrada y salida	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
Conexión de agua de refrigeración	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Caudal de agua de refrigeración @20℃	1,5 m³/H	2,4 m³/H	3,5 m³/H	5m³/H	5,5 m³/H	6 m³/H	8 m³/H
Potencia 380 V	3KW	4KW	6KW	7,5 KW	9KW	12KW	15KW
Expansión de la temperatura	Añadiendo un calentador eléctrico, puede ampliarse hasta -25℃~80℃.

Communication function

Standard equipment includes serial

Communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.

client output signal

Envíenos su solicitud y nos pondremos en contacto con usted en 24 horas

recomendar productos

FLT-100℃~90℃
Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.

cargando...

已经是到最后一篇内容了！

Semiconductores FAB

Embalaje y ensayo de semiconductores

API e Intermedio

Biofarmacéutica

New materials | Special Gas

Materiales aeroespaciales | Ensayos

Microcanal | Reactor tubular

Industria de la energía del hidrógeno

Nueva industria energética

Concentración de destilación

Refrigeración de medios químicos

Material criogénico

Proceso de producción

Vídeos de productos

Recogida a domicilio

Centro de noticias

Descarga de datos del producto

Control de la temperatura en los procesos de producción y ensayo de semiconductores