LNEYA Enfriadoras industriales Fabricante Proveedor
Enfriadores multicanal
Rango de temperatura -45℃~90℃, Preciso ±0.1℃, Control independiente
Enfría múltiples procesos con una sola unidad. Confiable, compacto y ahorrador de energía.
Enfría varios procesos con una sola unidad. Confiable, compacto y eficiente en energía.
El enfriador multicanal FLTZ puede realizar control de temperatura independiente para cada canal. Podemos establecer el mismo o diferente rango de temperatura, flujo del medio de transferencia de calor, etc. para cada canal según sus necesidades.
Los canales no se afectan entre sí. Incluso si un canal falla, no afectará el funcionamiento de los demás canales.
Nuestra línea de enfriadores multicanal FLTZ incluye modelos estándar de dos y tres canales. Para aplicaciones especializadas, ofrecemos soluciones personalizadas adaptadas a sus necesidades específicas, incluyendo el número de canales, parámetros de control y tamaño del equipo.
Características de los enfriadores multicanal
1. Control de temperatura independiente
Los enfriadores multicanal de frecuencia variable FLTZ tienen función de control de temperatura independiente para cada canal. Los diferentes canales pueden diseñarse con distintos rangos de temperatura, capacidades de calefacción y refrigeración, y caudales del medio de transferencia de calor. Según el rango de temperatura requerido, se puede seleccionar refrigeración por compresión de vapor o un sistema de intercambio de calor sin compresor ETCU.
2. Control centralizado
Los enfriadores multicanal de frecuencia variable FLTZ pueden controlar múltiples sistemas de canales de fluido con un solo equipo principal. Puede supervisar varios canales de forma remota a través de un sistema. Este control centralizado no solo mejora la eficiencia operativa, sino que también optimiza el diagnóstico de fallos y los procedimientos de operación.
3. Ahorra espacio y reduce el cableado
Los distintos canales pueden utilizar tanques de expansión, condensadores, sistemas de agua de enfriamiento, etc., lo que reduce eficazmente la cantidad de cableado y el tamaño del equipo, haciendo que sus enfriadores multicanal sean más compactos y ocupen menos espacio.
4. Control de temperatura preciso y estable
Los enfriadores multicanal de frecuencia variable FLTZ tienen una precisión de control de temperatura de hasta ±0,1℃. Adoptan un algoritmo de árbol auto-construido sin modelo y un predictor de histéresis, y controlan al mismo tiempo ventiladores de frecuencia variable, válvulas de expansión electrónicas y compresores de frecuencia variable, lo que asegura la estabilidad del control de temperatura cuando la carga térmica fluctúa.
5. Ahorro de energía con frecuencia variable
Los enfriadores multicanal de frecuencia variable FLTZ están equipados con compresor, ventilador y bomba de frecuencia variable, que pueden controlar la velocidad de los motores del compresor, ventilador y bomba respectivamente según la carga de su equipo.
6. Calentamiento del compresor
Cuando la temperatura es inferior a 40℃, los enfriadores multicanal pueden hacer circular los gases de escape calientes a través de la válvula de expansión, y el fluido circulante puede calentarse sin un calentador.
7. Reducción del costo de mantenimiento de la bomba
Los enfriadores utilizan una bomba de accionamiento magnético sin sello mecánico, por lo que no existe el problema de fugas en el eje, y no es necesario revisar regularmente las fugas de la bomba ni reemplazar el sello mecánico, lo que reduce considerablemente el costo operativo de la bomba.
8. Función de comunicación
Los protocolos de comunicación del enfriador de proceso multicanal incluyen la interfaz RS485 con protocolo Modbus RTU y la interfaz Ethernet con protocolo TCP/IP.
9. Pantalla táctil fácil de usar
Este enfriador de recirculación multicanal utiliza una pantalla táctil a color personalizada, que no solo muestra el estado de funcionamiento del equipo en tiempo real, sino que también permite monitorear las condiciones anormales durante la operación del equipo en tiempo real. La interfaz de operación es simple y fácil de entender, y los ajustes se pueden completar mediante gestos y deslizamientos sencillos.
10. Red de suministro global
LNEYA cuenta con una red de mercado integral en el mundo, y sus enfriadores se exportan a más de 30 países y regiones. Tiene agentes en muchos países como Estados Unidos, Canadá, Australia, Rusia, Corea del Sur, etc. Por lo tanto, podemos ofrecerle nuestros enfriadores y servicios de alta calidad en todo el mundo.
Aplicaciones de enfriadores multicanal
Los enfriadores multicanal FLTZ son ampliamente utilizados en la industria de semiconductores debido a sus ventajas, como el control preciso de la temperatura, la gestión independiente de circuitos y la rápida refrigeración. Los escenarios de aplicación de los enfriadores para semiconductores incluyen la fabricación de obleas, pruebas de embalaje, fotolitografía, grabado, deposición CVD/PVD, procesos de limpieza, etc.
• Fotolitografía
El sistema de exposición, las lentes ópticas, las fuentes de luz láser y las placas de máscara de la máquina de fotolitografía requieren un control preciso de la temperatura para garantizar la precisión del patrón.
• Grabado
Durante el grabado por plasma (RIE, ICP, etc.), la cámara y los electrodos deben estar estrictamente controlados en temperatura para garantizar la uniformidad del grabado. El enfriador puede proporcionar un entorno de temperatura estable para el equipo de grabado y reducir las desviaciones del proceso.
• 화학적 기상 증착(CVD) / 물리적 기상 증착(PVD)
El CVD (como LPCVD, PECVD) y el PVD (como recubrimiento por pulverización) se utilizan para la deposición de películas delgadas, y el control de temperatura de la cámara y el sustrato afecta la calidad de la película.
• Implantación iónica
El haz de partículas de alta energía generado durante la implantación iónica puede causar altas temperaturas locales. El enfriador de proceso puede eliminar rápidamente el calor para evitar daños térmicos en la oblea.
• Recocido
Durante el proceso de recocido, el enfriador debe ajustar dinámicamente la velocidad de enfriamiento para optimizar la eficiencia de activación de los átomos dopados.
• Limpieza en húmedo
Se utiliza para mantener el agua desionizada dentro de un rango de temperatura específico para eliminar residuos de fotoresistencia, contaminación metálica y partículas.
• Empaquetado de chips
En el proceso de empaquetado de BGA, CSP, FCBGA, etc., el control de temperatura de los materiales de soldadura y empaquetado afecta la fiabilidad.
Enfría varios procesos con una sola unidad. Confiable, compacto y eficiente en energía. Specification
| Modelo | FLTZ-203W-2T | |
| Tubería | Canal 1 | Canal 2 |
| Rango de temperatura | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Capacidad de enfriamiento | ±0,1℃（Precisión de control de temperatura personalizable de ±0,01℃） | |
| Capacidad de calefacción | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Caudal del medio conductor de calor | 2kW | 2kW |
| 열전달 매체 연결 크기 | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| Interfaz de transferencia de calor | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Humedad ambiental | 30～70% | 30～70% |
| Temperatura del agua de refrigeración | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Caudal del agua de enfriamiento | 20 l/min | 20 l/min |
| Peso | 400 kg | |
| Dimensiones（cm） | 50*90*160 | |
| Modelo | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Tubería | Canal 1 | Canal 2 |
| Rango de temperatura | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Capacidad de enfriamiento | ±0,1℃（Precisión de control de temperatura personalizable de ±0,01℃） | |
| Capacidad de calefacción | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
| Caudal del medio conductor de calor | 2kW | 6kW |
| 열전달 매체 연결 크기 | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| Interfaz de transferencia de calor | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Humedad ambiental | 30～70% | 30～70% |
| Temperatura del agua de refrigeración | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Caudal del agua de enfriamiento | 40L/min | 20 l/min |
| Peso | 550kg | |
| Dimensiones（cm） | 60*100*185 | |
| Modelo | FLTZ-203W/2T sistema dual | FLTZ-305W/2T sistema dual | FLTZ-406W/2T sistema dual | |||
| Rango de temperatura | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Precisión del control de temperatura | ±0,1℃（Precisión de control de temperatura personalizable de ±0,01℃） | |||||
| Caudal del medio conductor de calor | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Capacidad de calefacción | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Capacidad de enfriamiento | 3kW @-15℃ | 3kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 5kW @-15℃ | 2.5kW @ -35℃ | 2.5kW @ -35℃ |
| Volumen del fluido circulatorio interno | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Interfaz de agua de refrigeración | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Modelo | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Tubería | Canal 1 | Canal 2 | Canal 3 |
| Rango de temperatura | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Estabilidad de temperatura | ±0,1℃（Precisión de control de temperatura personalizable de ±0,01℃） | ||
| Capacidad de enfriamiento | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Capacidad de calefacción | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| Caudal del medio conductor de calor | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 열전달 매체 연결 크기 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Humedad ambiental | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Caudal del agua de enfriamiento | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura del agua de refrigeración | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Interruptor automático | 100A | ||
| Peso | 600kg | ||
| Dimensiones（cm） | 60*100*170 | ||
| Modelo | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Tubería | Canal 1 | Canal 2 | Canal 3 |
| Rango de temperatura | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Estabilidad de temperatura | ±0,1℃（Precisión de control de temperatura personalizable de ±0,01℃） | ||
| Capacidad de enfriamiento | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Capacidad de calefacción | 2kW | 6kW | Pump Heat Loss |
| Caudal del medio conductor de calor | 30L/min 0.85MPa | 30L/min 0.85MPa | 20L/min 0.8MPa |
| 열전달 매체 연결 크기 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Humedad ambiental | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Caudal del agua de enfriamiento | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatura del agua de refrigeración | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Interruptor automático | 75A | ||
| Peso | 600kg | ||
| Dimensiones（cm） | 60*100*170 | ||
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¿Cuándo necesita un enfriador multicanal FLTZ?
Si necesita un control de temperatura independiente para varios equipos o procesos diferentes y no desea comprar varios enfriadores independientes, los enfriadores multicanal FLTZ son una opción muy ideal.
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por qué elegir LNEYA?
LNEYA fue fundada en Wuxi, China en 2010. La empresa cuenta actualmente con un área de planta de 25.000㎡
con una producción anual de 5.000 unidades y un valor de producción de más de 300 millones durante dos años consecutivos.
Desde su fundación, LNEYA se ha centrado en ofrecer servicios de control de temperatura alta y baja, ultra baja temperatura y control de temperatura preciso para las industrias de semiconductores, productos químicos farmacéuticos, nuevas energías, aeroespacial y otras.
Hemos atendido a más de 30.000 clientes en todo el mundo y contamos con más de 130 patentes.
Nuestros enfriadores han sido seleccionados por más de 100 proyectos de laboratorios universitarios en todo el mundo y exportados a más de 20 países. Contamos con agentes en diversos países y regiones de Europa.
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