LNEYA Enfriadoras industriales Fabricante Proveedor
Todos los modelos de chillers para semiconductores
Enfriador Peltier
TEC -20℃~90℃
PRECISIÓN DE TEMPERATURA ±0.1℃
Proporciona un control de temperatura confiable y preciso para el proceso de grabado de obleas
Temperatura del punto de rocío
≤30℃
≤30℃
Tensión de alimentación
AC208V-DC250V
Voltaje de suministro eléctrico
AC208V-DC250V
Voltaje de suministro eléctrico
Temperatura de activación de CDA
＜30℃
＜30℃
El enfriador termoeléctrico Peltier de LNEYA tiene un rango de temperatura de -20 a 90℃, hecho a medida para la industria de semiconductores;
Basado en el probado principio de conducción de calor Peltier, el sistema de control de temperatura Peltier puede proporcionar un control de temperatura repetible para aplicaciones de grabado por plasma; el control dinámico de la temperatura del chuck electrostático (ESC) permite aplicarlo a todo tipo de procesos de grabado.
TEC SERIES
-20°C
más bajo
90°C
más alto
±0.1°C
Precisión del control de temperatura
| Modelo | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Temp. Rango | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| Capacidad de refrigeración | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| Potencia calorífica | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| Flujo | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| Temperatura del agua de refrigeración | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| Flujo | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Principio de funcionamiento
1. Portador de oblea (Chuck wafer carrier) 2. Bomba de circulación (Circulation pump) 3. Controlador (Controller) 4. Módulo de intercambio de calor termoeléctrico (Thermoelectric heat exchange module) 5. Módulo de alimentación (Power module) 6. Entrada de agua de enfriamiento (Cooling water inlet) 7. Salida de agua de enfriamiento (Cooling water outlet)
Esta solución de control de temperatura in situ mejora significativamente la uniformidad del proceso entre lotes de obleas y entre cámaras. Cómo funciona: la monitorización en tiempo real de la temperatura del cuerpo de la onda de reflujo de la cámara se utiliza para ajustar dinámicamente la temperatura de suministro y compensar los cambios en la carga térmica durante el proceso. *Sistema de control de temperatura in situ *Las tasas de incremento rápido mejoran significativamente el rendimiento de la cámara *Sistema sin compresor en el punto de uso reduce el consumo de energía aproximadamente en un 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
Funcionan completamente sin refrigerante y requieren muy poco mantenimiento.
Puede confiar en nuestra fábrica de chillers Peltier
Somos un proveedor de chillers muy potente con nuestra propia fábrica y más de 20 años de experiencia en el campo del control de temperatura
Servicio global
Atendido a más de 30,000 clientes.
Exportado a más de 20 países.
Patentes de certificación
Ha obtenido la certificación CE, la certificación SGS y la certificación ISO.
Servicio postventa
Proporcionar formación técnica integral.
Con soluciones 24/7.
Equipo profesional
Fundada en 2010, con 15 años de experiencia en la industria.
El 20% de los empleados son técnicos.
Control de calidad
Inspección visual.
Prueba de rendimiento.
Prueba de seguridad eléctrica.
Preguntas Frecuentes
El chiller Peltier ofrece un control de temperatura rápido y preciso, capaz de cumplir con cualquier requisito de proceso exigente
Contacte con LNEYA
Envíenos su solicitud y nos pondremos en contacto con usted en un plazo de 24 horas
Agregue a nuestro gerente de cuenta mediante el código QR a continuación
WeChat/Teléfono
86 18914253067
+86 18914253067
Dirección de correo electrónico
market@lneya.com
