LNEYA Enfriadoras industriales Fabricante Proveedor
ALL Semiconductor chillers model
Enfriador Peltier
TEC -20℃~90℃
TEMPERATURE ACCURACY ±0.1℃
Provide reliable and precise temperature control for wafer etching process
Dew point temperature
≤30℃
≤30℃
Tensión de alimentación
AC208V-DC250V
three-phase voltage
AC208V-DC250V
three-phase voltage
CDA activation temperature
＜30℃
＜30℃
LNEYA Peltier chiller thermoelectric cooler temperature range from -20 to 90℃, tailor-made for the semiconductor industry;
Based on the proven Peltier heat conduction principle, the Peltier temperature control system can provide repeatable temperature control for plasma etching applications; dynamic temperature control of the electrostatic chuck (ESC) enables it to be applied to all types of etching processes.
TEC SERIES
-20°C
más bajo
90°C
Más alto
±0.1°C
Precisión del control de temperatura
| Modelo | TEC-1200W | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| Temp. Rango | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | -20℃~90℃ | |
| Capacidad de refrigeración | 20℃ | 1200w | 2450w | 4500w |
| 10℃ | 900w | 1925w | 3500w | |
| 0℃ | 600w | 1400w | 2600w | |
| -10℃ | 350w | 875w | 1600w | |
| -20℃ | 80w | 350w | 700w | |
| Potencia calorífica | ＞3000w | ＞6000w | ＞12000w | |
| Pump type | DC magnetic pump | DC magnetic pump | DC magnetic pump | |
| Pressure（bar） | ≤4 | ≤4 | ≤4 | |
| Flujo | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | 15L/min at 2bar | |
| Fluid | Galden HT135 | Galden HT135 | Galden HT135 | |
| Temperatura del agua de refrigeración | DI＜20℃ | DI＜20℃ | DI＜20℃ | |
| Cooling Water Flow | ≤12L/min | ≤20L/min | ≤32L/min | |
| Pressure | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | 0.5-0.8bar | |
| Flujo | 2-3m³/h | 2-3m³/h | 2-3m³/h | |
Dynamic temperature control principle
1.Chuck wafer carrier
2.Circulation pump
3.Controller
4.Thermoelectric heat exchange module
5.Power module
6.Cooling water inlet
7.Cooling water outlet
This on-site temperature control solution significantly improves process uniformity between wafer batches and between chambers.
How it works: Real-time monitoring of the chamber’s reflow wave body temperature is used to dynamically adjust the supply temperature to compensate for changes in heat load during the process.
*On-site temperature control system
*Fast ramp rates significantly improve chamber throughput
*Compressor-free point-of-use system reduces energy consumption by approximately 50%
PELTIER CHILLER FEATURES
They operate completely without refrigerant and require very little maintenance.
Puede confiar en nuestra fábrica de enfriadores portátiles
Somos un potente proveedor de enfriadores con fábrica propia y más de 20 años de experiencia en el campo del control de la temperatura.
Servicio global
Atendió a más de 30.000 clientes.
Exportado a más de 20 países.
Patentes de certificación
Ha obtenido la certificación CE, la certificación SGS y la certificación ISO.
Servicio posventa
Proporcionar formación técnica completa.
Con soluciones 24/7.
Equipo profesional
Fundada en 2010, con 15 años de experiencia en el sector.
20% de los empleados son técnicos.
Control de calidad
Inspección visual.
Prueba de rendimiento.
Prueba de seguridad eléctrica.
PREGUNTAS FRECUENTES
Peltier chiller fast and precise temperature control, able to meet any demanding process requirements
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