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MD Series Thermal Chuck

Mandril térmico serie MD

APLICACIONES

Puede lograr cambios rápidos de temperatura y controlar la temperatura con precisión. El propio sistema viene con un refrigerador, lo que evita el consumo de nitrógeno líquido, dióxido de carbono, etc. Cada sistema incluye un mandril y una unidad de control de frío y calor.

MD -75℃~225℃

 

Modelo MD SERIES
Rango de temperatura -75℃~225℃
Precisión de control de temperatura ±0,5℃(Temperatura de salida en estado estable)
Uniformidad de temperatura de la placa ±1℃
Planicidad de la placa ±15um
Cable de conexión entre host y tarjeta 2,5 m (otras longitudes se pueden personalizar)
Tratamiento de superficies planas Niquelado (opcional chapado en oro)
Calefacción -60°C a +25°C: 2 min
0°C to +25°C: 2 min
+25°C a +220°C: 6 min
Refrigeración 220°C a +25°C: 2 min
+25°C a -60°C: 6 min
Sistema de control Controlador PLC, algoritmo difuso PID feedforward de calefacción, válvula de expansión electrónica de enfriamiento PID
control de la capacidad de enfriamiento
Visualizar y grabar Pantalla táctil a color de 7 pulgadas, registro de curva de temperatura y alarma
Comunicación Ethernet interface,TCP/IP protocol
Wafer carrier Nickel-platedgold/non-conductive coating)ithflexible chuckconnectionforeasy carrierlatereplacement
Tipo de adsorción de oblea     ensuring surfaceflatnesswithin3um<10um
Power supply 220V50HZ     Vacuum Chuck System
Communication mode     200~230VA50/60HZmax

 

MD series provides an open surface flat work platform with rapid temperature rise and fall and constant temperature control. It is used for RF device and high-density power device testing. It can also be used for rapid cooling of laboratory flat panels (plasma, biological products, batteries), etc. The refrigerant is directly evaporated inside the flat panel, which greatly improves the heat exchange efficiency compared to the liquid cooling method and increases the heat exchange power of the flat panel per unit area.

 

 

APLICACIONES

Temperature control solution for Semiconductor packaging and testing process

El proceso de envasado y ensayo de semiconductores es un eslabón clave en el proceso de producción de semiconductores, que incluye el ensayo de obleas, el envasado de chips y el ensayo posterior al envasado. Este proceso no solo requiere alta precisión y fiabilidad, sino también un estricto control de la temperatura para garantizar la calidad y el rendimiento del producto.

Aerospace materials | Test equipment temperature control solution

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