Chiller para semiconductores con control preciso de temperatura

Visión general de los chillers para semiconductores

La industria de los semiconductores requiere un control de temperatura extremadamente preciso. Muchos pasos de fabricación y prueba son altamente sensibles incluso a pequeños cambios de temperatura. El rendimiento del producto y el rendimiento dependen de sistemas de refrigeración estables y de alta precisión.
 
LNEYA es un fabricante líder de chillers avanzados para aplicaciones en semiconductores. Desde 2010, hemos suministrado equipos de control de temperatura confiables para el procesamiento, empaque y líneas de prueba de obleas. Nuestra gama de productos incluye chillers tanto estándar como personalizados diseñados para un rendimiento preciso y repetible.
 
Para procesos especializados, podemos personalizar una solución de refrigeración según sus requisitos en rango de temperatura, capacidad e interfaz de control.
 
Contacte a nuestro equipo de ingeniería para solicitar un catálogo de productos o obtener una cotización para su sistema de enfriamiento de semiconductores.

LNEYA® Semiconductor Chillers Characteristics

• Alta eficiencia, producción estable y resultados repetibles.
• Utilice un intercambiador de calor de placas y un calentador de tubos para mejorar la velocidad de enfriamiento y calefacción.
• Extremely wide temperature range（-150℃ to +350℃）, no need to change liquid medium.
• Sistema completamente cerrado para extender la vida útil del fluido térmico.
• Use bomba de accionamiento magnético, sin problemas de fuga en el sello del eje.
• High temperature cooling technology, 300℃ direct start compressor cooling.

Aplicaciones de los chillers para semiconductores

La fabricación de semiconductores requiere sistemas de refrigeración estables y precisos. Un chiller confiable para semiconductores ayuda a controlar la temperatura durante el procesamiento, grabado y pruebas de obleas. En LNEYA, diseñamos chillers para semiconductores con alta precisión de temperatura, operación en un amplio rango y estabilidad confiable a largo plazo.
 
La fabricación de semiconductores requiere condiciones ambientales extremadamente estables. Incluso una pequeña variación de temperatura puede afectar el rendimiento del producto y la fiabilidad del dispositivo. Un chiller para semiconductores proporciona un control preciso de la temperatura durante etapas críticas del proceso, como el embalaje de obleas, pruebas y fabricación.
 
Estos chillers se utilizan ampliamente para el enfriamiento de procesos en fábricas de semiconductores y sistemas de metrología. Ayudan a estabilizar los sensores CMOS y CCD, mantienen la temperatura en los sistemas de inspección AOI y proporcionan refrigeración independiente para las paredes de la cámara durante el grabado por plasma o la deposición de películas finas.
 
En aplicaciones como el grabado térmico de capas atómicas de tungsteno metálico, el enfriamiento constante garantiza resultados repetibles y una mayor vida útil del equipo.