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Compacto, de alta precisión, favorable al medio ambiente
Rango de temperatura: -100 ℃ ~ 90 ℃ Precisión de temperatura: ±0,05 ℃
LNEYA representa la tecnología de control de temperatura de líquidos internacionalmente avanzada, explora y estudia activamente la simulación de pruebas de temperatura del sistema de prueba de componentes, tiene una amplia dirección de temperatura y un alto aumento y caída de temperatura, rango de temperatura: -100 ° C ~ + 90 ° C, precisión de control de temperatura hasta: ± 0,05 ℃.
Los productos incluyen control de temperatura de fluido fluorado (mínimo -100 grados) y admiten control continuo de temperatura multicanal. Todos los equipos se someten a pruebas de amoníaco y de seguridad antes de salir de fábrica para garantizar la seguridad y fiabilidad del sistema.
high-precision Process chillers Video
Integrates refrigeration heating and temperature control functions. It is mainly used for temperature control in semiconductor FAB processes and packaging and testing processes.
Saving more than 20% energy compared to the old products; it adopts a fully enclosed pipeline design to reduce the demand for heat transfer medium, and at the same time, the heat discharged by the compressor is used for heating within 40℃, so the circulation heating can be achieved without a heater.
Cooling capacity 6kW~40kW
Cooling water flow 1.5m³/h~9m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 2kW~15kW
Cooling water flow 1.2m³/h~10.2m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 1kW~8kW
Cooling water flow 1.5m³/h~8m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 0.6kW~3kW
Cooling water flow 1.8m³/h~6m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
Cooling capacity 1.5kW~3kW
Cooling water flow 50L/min~100L/min 2bar~7bar
Temp accuracy ±0.05℃
Semiconductor Chiller Applications
La fabricación de semiconductores es un proceso con requisitos ambientales extremadamente altos, y un estricto control de temperatura determina el rendimiento del producto. Los enfriadores de semiconductores se utilizan comúnmente en procesos de empaquetado y prueba de la industria de semiconductores, control de temperatura de procesos FAB de semiconductores, refrigeración de sensores CMOS/CCD en sistemas de metrología de semiconductores, refrigeración circulante de sistemas AOI de metrología de semiconductores, control de temperatura independiente para las paredes laterales de la cavidad, grabado y deposición de bisel por plasma, grabado térmico de capas atómicas de tungsteno metálico, etc.
El sistema de secado térmico correspondiente proporciona temperatura de enfriamiento y calentamiento, mejora la eficiencia de la prueba y la calidad de los chips de obleas y tiene un pequeño error de precisión de temperatura.
El enfriador térmico se combina con la máquina de prueba, con una precisión de control de temperatura de ±0,05 ℃, lo que mejora la eficiencia de la prueba de chips del instituto.
El enfriador de proceso se utiliza en fábricas de semiconductores, con control de temperatura de enfriamiento y calentamiento de alta precisión, lo que mejora la tasa de fabricación de obleas y reduce la tasa de desechos.
Why Choose LNEYA® ?
Rango de temperatura muy amplio, sin necesidad de sustituir el medio líquido;
Resultados de estabilidad y repetibilidad de la producción eficientes;
Tecnología de refrigeración de alta temperatura, directamente iniciar el compresor para enfriar a 300 ℃.
Sistema totalmente cerrado que prolonga la vida útil de los líquidos conductores térmicos;
Utilización de intercambiadores de calor de placas y calentadores de tuberías para mejorar los índices de refrigeración y calefacción;
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