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El dispositivo de control de temperatura de semiconductores Chiller se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en los procesos de prueba y producción de semiconductores.
Sus productos incluyen control de temperatura de líquido fluorado fluido (mínimo -100 ° C), cambio rápido de temperatura de enfriamiento y calentamiento de gas, mandril de cambio rápido de temperatura, máquina de refrigeración de gas de baja temperatura (-120 ° C), unidad de refrigeración de enfriamiento directo (-150 ° C), etc. La empresa aplica varios algoritmos (PID, PID feedforward y algoritmo de árbol de autoconstrucción sin modelo) en el sistema para lograr una respuesta rápida y una alta precisión de control.