Buscar en toda la estación

Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process

Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 1)

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 2)

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 3)

Serie de conversión de frecuencia FLTZ

Modelo 5℃~90℃  -25℃~90℃  -45℃~90℃  -80℃~+90℃  -100℃~+90℃
Precisión del control de temperatura ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃
Capacidad de enfriamiento 6KW~40KW @10℃ 2KW~15KW @-15℃ 1KW~8KW @-35℃ 0.6KW~3KW @-70℃ 1.5KW~3KW @-90℃

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 4)

FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series

Modelo -20℃~+90℃  -45℃~+80℃ -10℃~+80℃  -25℃~+100℃
Tubería Canal 2 Canal 2 Canal 3 Canal 3
Precisión del control de temperatura ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
Capacidad de enfriamiento 4kW@-10℃ 11kW@-20℃
5kW@-40℃
4kW@-10℃/21kW@+20℃ 13kW@PCW+15℃
Capacidad de calefacción 2kW 2kW 4.5+6kW 6kW

Modelo FLTZ-203W/2T sistema dual FLTZ-305W/2T sistema dual FLTZ-406W/2T sistema dual
Rango de temperatura -20℃~90℃  -30℃~90℃ -45℃~90℃
Precisión del control de temperatura ±0.1℃
Caudal del medio conductor de calor 15~45l/min 6bar max
Capacidad de calefacción 2,5 kW 2,5 kW 2,5 kW 2,5 kW 3,5 kW 3,5 kW
Capacidad de enfriamiento 3kW @-15℃ 3kW @-15℃ 5kW @-15℃ 5kW @-15℃ 2.5kW @-35℃ 2.5kW @-35℃

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 5)

ETCU Heat Exchange Chiller Series

Modelo ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
Rango de temperatura Cooling water temperature +5℃~90℃
Precisión del control de temperatura ±0.05℃(Temperatura de salida en estado estable)
Temperatura del agua de refrigeración 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves
Capacidad de enfriamiento 5kW 15 kW 30 kW 50 kW 100 kW 200 kW 300 kW

<trp-post-container data-trp-post-id='7069'>High-precision hot cold chiller</trp-post-container>(images 6)

AES Series Thermal Stream

Modelo AES-4535
AES-4535W
AES-6035
AES-6035W
AES-8035
AES-8035W
AES-A1035W AES-A1235W
Rango de temperatura -40℃~225℃ -60℃~225℃ -80℃~225℃ -100℃~225℃ -120℃~225℃
Precisión de la temperatura ±0.05℃(Temperatura de salida en estado estable)
Requisitos de aire Air filter < 5um air oil content < 0.1um air temp and humidity:5℃-32℃ 0-50%RH
Capacidad de tratamiento de aire 10m³/h-m³/h  pressure 5bar-7.6bar

Contact LNEYA technical engineer for model selection

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 7)

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 8)

  • Resultados de estabilidad y repetibilidad de la producción eficientes;
  • Utilización de intercambiadores de calor de placas y calentadores de tuberías para mejorar los índices de refrigeración y calefacción;
  • Rango de temperatura muy amplio, sin necesidad de sustituir el medio líquido;
  • Sistema totalmente cerrado que prolonga la vida útil de los líquidos conductores térmicos;
  • Adoptando la bomba de accionamiento magnético, no hay problema de fugas del sello del eje;
  • High temperature cooling technology, directly start the compressor to cool down at 300 ℃.

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 9)

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 10)

Envíenos su solicitud y nos pondremos en contacto con usted en un plazo de 24 horas
*
*

Multicanal

Canal 1Canal 2Canal 3

Temperature control range

-30℃~25℃-80℃~90℃5℃~90℃-60℃~-30℃*
Submitting….
¡Enviado con éxito!
¡Error al enviar! Por favor, inténtelo de nuevo más tarde
¡Error de correo electrónico!
¡Error de teléfono!

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 11)

Temperature Control :-120℃~350℃

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 12)

Temperature Control: -40℃~100℃

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 13)

Temperature Control: -85℃~250℃

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 14)

Outdoor Chiller

&lt;trp-post-container data-trp-post-id=&#039;7069&#039;&gt;High-precision hot cold chiller&lt;/trp-post-container&gt;(images 15)

Indoor Chiller