Buscar en toda la estación

Thermal Chillers for Semiconductor ATE & Process

Advanced liquid temperature control technology, actively exploring and researching component test systems, mainly used for temperature test simulation in pharmaceutical chemicals, new energy, semiconductors, and aerospace testing, with wide temperature direction and high temperature rise and fall, temperature range: -80°C~+90°C, temperature control accuracy up to: ±0.05℃, suitable for various test requirements.

FLTZ Frequency Conversion Series

Modelo 5℃~90℃  -25℃~90℃  -45℃~90℃  -80℃~+90℃  -100℃~+90℃
Precisión del control de temperatura ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃ ±0.05℃
Capacidad de refrigeración 6KW~40KW @10℃ 2KW~15KW @-15℃ 1KW~8KW @-35℃ 0.6KW~3KW @-70℃ 1.5KW~3KW @-90℃

FLTZ Frequency Conversion Multi-channel Series

Modelo -20℃~+90℃  -45℃~+80℃ -10℃~+80℃  -25℃~+100℃
Pipeline channel 2 channel 2 channel 3 channel 3
Precisión del control de temperatura ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
Capacidad de refrigeración 4kW@-10℃ 11kW@-20℃
5kW@-40℃
4kW@-10℃/21kW@+20℃ 13kW@PCW+15℃
Heating capacity 2kW 2kW 4.5+6kW 6kW

Modelo FLTZ-203W/2T dual system FLTZ-305W/2T  dual system FLTZ-406W/2T dual system
Temperatura -20℃~90℃  -30℃~90℃ -45℃~90℃
Precisión del control de temperatura ±0.1℃
Heat conducting medium flow rate 15~45l/min 6bar max
Heating capacity 2,5 kW 2,5 kW 2,5 kW 2,5 kW 3,5 kW 3,5 kW
Capacidad de refrigeración 3kW @-15℃ 3kW @-15℃ 5kW @-15℃ 5kW @-15℃ 2.5kW @-35℃ 2.5kW @-35℃

ETCU Heat Exchange Chiller Series

Modelo ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
Temperatura Cooling water temperature +5℃~90℃
Precisión del control de temperatura ±0.05℃(Steady state outlet temperature)
Temperatura del agua de refrigeración 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves
Capacidad de refrigeración 5kW 15 kW 30 kW 50 kW 100 kW 200 kW 300 kW

AES Series Thermal Stream

Modelo AES-4535
AES-4535W
AES-6035
AES-6035W
AES-8035
AES-8035W
AES-A1035W AES-A1235W
Temperatura -40℃~225℃ -60℃~225℃ -80℃~225℃ -100℃~225℃ -120℃~225℃
Precisión de la temperatura ±0.1℃(Steady state outlet temperature)
Air requirements Air filter < 5um air oil content < 0.1um air temp and humidity:5℃-32℃ 0-50%RH
Air treatment capacity 10m³/h-m³/h  pressure 5bar-7.6bar

Contact LNEYA technical engineer for model selection

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.

  • Resultados de estabilidad y repetibilidad de la producción eficientes;
  • Utilización de intercambiadores de calor de placas y calentadores de tuberías para mejorar los índices de refrigeración y calefacción;
  • Rango de temperatura muy amplio, sin necesidad de sustituir el medio líquido;
  • Sistema totalmente cerrado que prolonga la vida útil de los líquidos conductores térmicos;
  • Adoptando la bomba de accionamiento magnético, no hay problema de fugas del sello del eje;
  • Tecnología de refrigeración de alta temperatura, directamente iniciar el compresor para enfriar a 300 ℃.

Submit your request to us and we will contact you within 24 hours
*
*

Multi-channel

Channel 1Channel 2Channel 3

Temperature control range

-30℃~25℃-80℃~90℃5℃~90℃-60℃~-30℃*
Submitting….
¡Enviado con éxito!
Submission failed! Please try again later
Email error!
¡Error telefónico!

Control de temperatura :-120℃~350℃

Control de temperatura: -40℃~100℃

Control de temperatura: -85℃~250℃

Outdoor Chiller

Indoor Chiller