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or vacuum chuck
LNEYA provides 8-inch and 12-inch vacuum chucks and non-standard customized square cold plates, supporting a temperature range of -70℃~+200℃, and can also customize various other temperature ranges, built-in multiple temperature sensors, multi-zone temperature control, precise FID adjustment and temperature control; supports direct cooling, liquid cooling, and air cooling.
Various temperature ranges can be customized
más bajo
Más alto
Precisión del control de temperatura
| Temperatura | -70℃~200℃ (Can be customized in various temperature ranges) |
| Uniformidad de temperatura | 土0.5℃ |
| Velocidad de calentamiento | -55℃~+25℃：12min -40℃~+25℃：10 min +25℃~+150℃：20 min +25℃~+200℃：28 min +25℃~+300℃：40 min |
| Tasa de enfriamiento | +150℃~+25℃：25 min +200℃~+25℃：30 min +300℃~+25℃：40 min +25℃~0℃：15 min +25℃~-40℃：35 min +25℃~-55℃：65 min |
| Método de refrigeración | Direct cooling system/liquid cooling system/air cooling system |
| Wafer adsorption type | Vacuum adsorption |
| Chuck size | φ330*58mm |
| Power supply 220V 50HZ | 200~230V AC50/60HZ 16A max |
KSD -75℃~200℃
Heating cooling rate Up to 50 ℃/min
Temperature Accuracy ±0.2℃
ZLJ & SLJ -150℃～-110℃
Cooling capacity 0.4kW~11kW
temperature accuracy ±1℃
MD -75℃～225℃
Heating & Cooling -60°C to +25°C: 2 min &+25°C to -60°C: 6 min
precisión de temperatura ±0,5℃
Atendió a más de 30.000 clientes.
Exportado a más de 20 países.
Ha obtenido la certificación CE, la certificación SGS y la certificación ISO.
Proporcionar formación técnica completa.
Con soluciones 24/7.
Fundada en 2010, con 15 años de experiencia en el sector.
20% de los empleados son técnicos.
Inspección visual.
Prueba de rendimiento.
Prueba de seguridad eléctrica.
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LNEYA Enfriadoras industriales Fabricante Proveedor
