Control de la temperatura y enfriadores en el proceso de difusión por oxidación

2024-07-02 1289

El proceso de difusión por oxidación es un paso clave en la fabricación de semiconductores. Se utiliza principalmente para formar capas de óxido y dopaje precisas, y tiene unos requisitos extremadamente estrictos de control de la temperatura. En este proceso, el enfriador, como imp...

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