LNEYA Enfriadoras industriales Fabricante Proveedor
ETCU Series Heat Exchange Chiller without compressor
APLICACIONES
Multi-channel independent temperature control can have independent temperature range, cooling and heating capacity, heat transfer medium flow, etc., using two independent systems, choose steam compression refrigeration according to the required temperature range, or use ETCU compressor-free heat exchange system, the system can use expansion tank, condenser, cooling water system, etc., which can effectively reduce the size of equipment and reduce the operation steps.
Parámetros del producto
| Modelo | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Temperatura | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Precisión del control de temperatura | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||||
| Temperatura del agua de refrigeración | 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves | ||||||
| Capacidad de refrigeración | 5kW | 15 kW | 30 kW | 50 kW | 100 kW | 200 kW | 300 kW |
| Test conditions: When the maximum circulation amount, the temperature difference between the temperature control temperature and the cooling water temperature is 15℃ |
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| Bomba de circulación | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Volumen del depósito | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Dimensión mm | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Customization | Customization | Customization | Customization |
Product Advantages
- Resultados de estabilidad y repetibilidad de la producción eficientes;
- Utilización de intercambiadores de calor de placas y calentadores de tuberías para mejorar los índices de refrigeración y calefacción;
- Rango de temperatura muy amplio, sin necesidad de sustituir el medio líquido;
- Sistema totalmente cerrado que prolonga la vida útil de los líquidos conductores térmicos;
- Adoptando la bomba de accionamiento magnético, no hay problema de fugas del sello del eje;
- Tecnología de refrigeración de alta temperatura, directamente iniciar el compresor para enfriar a 300 ℃.
APLICACIONES
Unidad de control de temperatura del proceso FAB de semiconductores
La fabricación de semiconductores es un proceso con requisitos medioambientales extremadamente exigentes, y muchas fases del proceso son muy sensibles a la temperatura.
El control preciso de la temperatura puede garantizar un grosor uniforme y una composición exacta de las películas depositadas, mejorando así el rendimiento y las prestaciones de los chips.
for Semiconductor packaging & testing process
El proceso de envasado y ensayo de semiconductores es un eslabón clave en el proceso de producción de semiconductores, que incluye el ensayo de obleas, el envasado de chips y el ensayo posterior al envasado. Este proceso no solo requiere alta precisión y fiabilidad, sino también un estricto control de la temperatura para garantizar la calidad y el rendimiento del producto.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
La bomba de frecuencia variable puede ajustar la presión hidráulica de circulación y el caudal
client output signal
Communication function
LNEYA provides customized services
custom ETCU sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom ETCU types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom ETCU voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
Contacto
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