LNEYA Enfriadoras industriales Fabricante Proveedor
Semicnductor Multi-channel Chiller
FLTZ -45℃~100℃- Precisión de la temperatura±0.1℃
- RefrigentR404A
- Control del caudal25~75/min 6bar máx
- Gama de potencia380V 3kW~17kW
Temperature control in semiconductor production testing processes
Heating method within 40 ℃ adopts a compressor hot gas heating fully enclosed design, and the machine operates continuously for 24 hours
Garantizar la estabilidad y fiabilidad del flujo global del proceso de semiconductores, desde el front-end hasta el back-end.
Mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing processes, heating within 40 ° C using a compressor hot gas heating method
Detalles de configuración
FLTZ -20℃~90℃ Dual Channel
| Modelo | FLTZ-203W-2T | |
| Tubería | Canal 1 | Canal 2 |
| Rango de temperatura | -20℃～+90℃ | -20℃~～90℃ |
| Precisión del control de temperatura | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| Capacidad de enfriamiento | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Capacidad de calefacción | 2kW | 2kW |
| Heat transfer medium flow | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Heat transfer medium interface | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Humedad ambiental | 30～70% | 30～70% |
| Temperatura del agua de refrigeración | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Cooling water flow | 20 l/min | 20 l/min |
| Interruptor automático | 30A | |
| Control de temperatura del proceso | Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm | |
| Peso | 400 kg | |
| Dimensions | 500*900*1600 | |
FLTZ -10℃~90℃ Dual Channel
| Modelo | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Tubería | Canal 1 | Canal 2 | Canal 3 |
| Rango de temperatura | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Precisión del control de temperatura | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| Capacidad de enfriamiento | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Capacidad de calefacción | 2kW | 6kW | Pump Heat Loss |
| Heat transfer medium flow | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Heat transfer medium interface | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatura ambiente | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Humedad ambiental | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Temperatura del agua de refrigeración | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Cooling water flow | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Interruptor automático | 75A | ||
| Control de temperatura del proceso | Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm | ||
| Peso | 600kg | ||
| Dimensions | 600*1000*1700 | ||
| Modelo | FLTZ-203W/2T Dual system | FLTZ-305W/2T Dual system | FLTZ-406W/2T Dual system | |||
| Rango de temperatura | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Precisión del control de temperatura | ±0.1℃ | |||||
| Flow control and pressure | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Calefacción | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Capacidad de enfriamiento | 3KW at-15℃ | 3KW at-15℃ | 5KW at-15℃ | 5KW at-15℃ | 2.5KW at -35℃ | 2.5KW at -35℃ |
| Volumen de líquido de circulación interna | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volumen del depósito de expansión | 15L | 25L | 25L | |||
| Heat transfer medium | Fluorination, antifreeze, thermal silicone oil, etc. | |||||
| Refrigerante | R404A/ R448 | |||||
| Heat transfer medium interface | ZG3/4 | |||||
| Interfaz de agua de refrigeración | ZG3/4 | |||||
| Agua de refrigeración | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Alimentación | Three-phase220V / Three-phase 400V /Three-phase 460V | |||||
| Control de temperatura del proceso | Control remote target temperature based on self-created model-free self-building tree algorithm and cascade algorithm | |||||
FLTZ -45℃~90℃ Dual Channel
| Modelo | FLTZ-203W/2T sistema dual | FLTZ-305W/2T sistema dual | FLTZ-406W/2T sistema dual | |||
| Rango de temperatura | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Precisión del control de temperatura | ±0.1℃ | |||||
| Caudal del medio conductor de calor | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Capacidad de calefacción | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Capacidad de enfriamiento | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| Volumen del fluido circulatorio interno | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volumen del depósito de expansión | 15L | 25L | 25L | |||
| Heat-conducting medium | Fluorinated liquid, antifreeze, thermal conductive silicone oil, etc | |||||
| Refrigerante | R404A/ R448 | |||||
| Heat-conducting medium interface | ZG3/4 | |||||
| Interfaz de agua de refrigeración | ZG3/4 | |||||
| Interfaz de agua de refrigeración | 50L/min at20℃ | 600L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| Potencia | Three phase 220V/Three phase 400V/Three phase 460V | |||||
| Control de temperatura del proceso | La temperatura objetivo remota se puede controlar combinando el algoritmo de árbol auto-creado sin modelo y el algoritmo en cascada |
|||||
Descriptions
Multi-channel independent temperature control can have separate temperature ranges, cooling and heating capabilities, heat transfer medium flow, etc. Two independent systems are used. Steam compression refrigeration or ETCU compressor-free heat exchange system can be selected according to the required temperature range. The system can use expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and reduce operating steps.
enfriadores que controlan la temperatura de procesamiento en los equipos Fab
Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.
Aplicaciones
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