LNEYA Enfriadoras industriales Fabricante Proveedor -
Heat Exchange Chiller (Semiconductor temperature control )
ETCU 5℃~90℃Temp Range: +5℃~90℃ ±0.3℃
Cooling Capacity: 5kw~30kw
Tank volume: 6L~15L
Power: 06KW~1.6KW
Control de la temperatura en los procesos de producción y ensayo de semiconductores
Método de calentamiento dentro de 40 ℃ adopta un compresor de calefacción de gas caliente diseño totalmente cerrado, y la máquina funciona continuamente durante 24 horas
Garantizar la estabilidad y fiabilidad del flujo global del proceso de semiconductores, desde el front-end hasta el back-end.
Detalles de configuración
| Modelo | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Temperatura | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Precisión del control de temperatura | ±0.05℃ (outlet temperature steady state) | ||||||
| Temperatura del agua de refrigeración | 7℃~30℃ Utilizar válvula reguladora Siemens/Honeywell para controlar el caudal de agua de refrigeración. | ||||||
| Capacidad de refrigeración | 5kw | 15kw | 30kw | 50kw | 100kw | 200kw | 300kw |
| Circulating pump flow | Test conditions: At maximum circulation, the temperature difference between the control temperature and the cooling water temperature is 15°C | ||||||
| Storage tank volume | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Dimensions | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Dimensions | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Customization | Customization | Customization | Customization |
Descripción del producto
El dispositivo de control de temperatura de semiconductores Chiller se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en los procesos de producción y ensayo de semiconductores. Sus productos incluyen el control de temperatura de líquidos fluorados (mínimo -100 grados), el cambio rápido de temperatura de refrigeración y calefacción de gas, el mandril de cambio rápido de temperatura, la máquina de refrigeración de gas a baja temperatura (-120 grados), la unidad de refrigeración directa (-150 grados), etc. La empresa aplica varios algoritmos (PID, PID feedforward y algoritmo de árbol autoconstruido sin modelo) en el sistema para lograr una respuesta rápida y una alta precisión de control.
La información importante, como la temperatura (presión) de escape y aspiración, la temperatura de condensación, la temperatura (presión) del agua de refrigeración, la temperatura (presión) del líquido (gas) de entrada y salida, la potencia eléctrica, la corriente y la tensión de cada componente, y el nivel del depósito de agua de la enfriadora, se gestionan, supervisan y registran de forma exhaustiva mediante sensores conectados al sistema de control.
La principal aplicación es controlar con precisión la temperatura en el proceso de producción de semiconductores y el proceso de pruebas.
El método de calentamiento está dentro de los 40°C y utiliza gas caliente del compresor para calentar el concentrado.
El sistema de circulación adopta un diseño totalmente sellado, y la bomba de circulación adopta una bomba de accionamiento magnético.
Pruebas de amoníaco y pruebas de seguridad para garantizar la seguridad, fiabilidad y prosperidad del sistema;
Tras 24 horas de funcionamiento continuo de la copiadora
Escenarios de aplicación del control de temperatura en el proceso de semiconductores
enfriadores que controlan la temperatura de procesamiento en los equipos Fab
Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.
Aplicaciones
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