Para mejorar la tasa de rendimiento de los productos y garantizar la rentabilidad, es necesario realizar controles de calidad en todas las fases de la industria de semiconductores. Un factor importante que afecta a la calidad del producto es la temperatura, y la estabilidad y precisión de la temperatura son muy importantes para garantizar productos estables y fiables. Garantizar un flujo de proceso de semiconductores estable y fiable desde el front-end hasta el back-end.
Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.
Puede utilizarse en procesos de: oxidación, recubrimiento de cola, fotolitografía, revelado, grabado, implantación de iones, eliminación de cola, deposición de películas, CMP, limpieza.
LNEYA Enfriadora por aire o enfriadora por agua
