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Dr Series Gas Dryer

Dr Series Gas Dryer

APLICACIONES

Use in sensors, semiconductor manufacturing, film and packaging material licenses, powder material transportation, spraying systems, food industry, pharmaceutical industry, etc. require distributed air sources with low dew point of -80℃ dry and clean.

Modo DR-300 DR-600 DR-1200
Rango de presión  0.65~1.0Mpa
Temperatura del punto de rocío  -70℃
Capacidad de procesamiento de gas 425L/Min 900L/Min 1750L/Min
Volumen de gas terminado 300L/Min 600L/Min 1200L/Min
Tamaño de la conexión ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4
Potencia 220V 15W
Dimensiones(cm) 200*180*1250 450*180*1250 450*180*1250

 

Fuentes de gas distribuidas utilizadas en sensores, fabricación de semiconductores, licencia de materiales de película y embalaje, transporte de materiales en polvo, sistemas de pulverización, industria alimentaria, industria farmacéutica, etc., que requieren secado y limpieza con punto de rocío bajo de -80℃.

Additional filtration of oil and particulate matter, with airflow passing through a filtration level of 0.01 μm, the pre filter prevents the desiccant from being contaminated by dust and oil (which greatly shortens the lifespan of the desiccant).

El secador de aire comprimido consta de varios conjuntos de cartuchos filtrantes llenos de desecantes. El aire comprimido en forma de niebla fluye alternativamente a través de varios conjuntos de elementos filtrantes, y la humedad en el aire se acumula en la superficie del secador. Después de que el proceso de filtración alcanza una duración predeterminada, el flujo de aire se desviará a otros elementos filtrantes, y una parte del flujo de aire (flujo de descarga) se utilizará para regenerar el secador del primer elemento filtrante. El flujo de purga se liberará a la atmósfera. La vida útil de los desecantes es de aproximadamente 15000 horas de trabajo

La bomba de frecuencia variable puede ajustar la presión hidráulica de circulación y el caudal

Función de comunicación

APLICACIONES

Unidad de control de temperatura del proceso FAB de semiconductores

La fabricación de semiconductores es un proceso con requisitos medioambientales extremadamente exigentes, y muchas fases del proceso son muy sensibles a la temperatura.
El control preciso de la temperatura puede garantizar un grosor uniforme y una composición exacta de las películas depositadas, mejorando así el rendimiento y las prestaciones de los chips.

for Semiconductor packaging & testing process

El proceso de envasado y ensayo de semiconductores es un eslabón clave en el proceso de producción de semiconductores, que incluye el ensayo de obleas, el envasado de chips y el ensayo posterior al envasado. Este proceso no solo requiere alta precisión y fiabilidad, sino también un estricto control de la temperatura para garantizar la calidad y el rendimiento del producto.

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.


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