LNEYA Enfriadoras industriales Fabricante Proveedor
FLTZ Variable Frequency Series Chiller for Semiconductor Industry
APLICACIONES
Semiconductor temperature control unit Chiller is mainly used for precise temperature control in the semiconductor production process and testing process. The company applies multiple algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Parámetros del producto
FLTZ 5℃～90℃
| Modelo | 002 002W |
003 003W |
004 004W |
006 006W |
008 008W |
010 010W |
015 015W |
| Temperatura | 5℃～90℃ | ||||||
| Cooling capacity @10℃ | 6kW | 8kW | 10kW | 15 kW | 20 kW | 25 kW | 40 kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen del depósito de expansión | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R410A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, polyol aqueous solution, DI, etc. (DI temp needs to be controlled above 10 ℃) | ||||||
| Tamaño de la conexión | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Caudal de agua de refrigeración @20℃ | 1,5 m³/h | 2 m³/h | 2,5 m³/h | 4 m³/h | 4,5 m³/h | 5,6 m³/h | 9 m³/h |
| Dimensión cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
FLTZ -25℃～90℃
| Modelo | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| Temperatura | -25℃～90℃ | ||||||
| Precisión del control de temperatura | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||||
| Control del caudal | 10～25L/min | 15～45L/min | 25～75L/min | ||||
| Cooling capacity @-15℃ | 2kW | 3kW | 3,8 kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15 kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen del depósito de expansión | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R404A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Tamaño de la conexión | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Caudal de agua de refrigeración @20℃ | 1,2 m³/H | 1,6 m³/H | 2,6 m³/H | 3,6 m³/H | 5,5 m³/H | 7 m³/H | 10,2 m³/H |
| Dimensión cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| Process temperature control | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
||||||
FLTZ -45℃～90℃
| Modelo | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| Temperatura | -45℃～90℃ | ||||||
| Precisión del control de temperatura | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||||
| Control del caudal | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 5bar max | 25～75L/min 5bar max | ||||
| Calefacción | Using compressor heating, prevent condenser frosting technology | ||||||
| Cooling capacity @-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1,8 kW | 2,5 kW | 3,3 kW | 5kW | 8kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| Volumen del depósito de expansión | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| Refrigerante | R404A | ||||||
| Refrigerating medium | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| Tamaño de la conexión | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| Caudal de agua de refrigeración @20℃ | 1,5 m³/H | 2,4 m³/H | 3,5 m³/H | 5m³/H | 5,5 m³/H | 6 m³/H | 8 m³/H |
| Dimensión cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
| Process temperature control | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
||||||
FLTZ -80℃～+90℃
| Modelo | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| Temperatura | -80℃～+90℃ | ||||
| Precisión del control de temperatura | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||
| Control del caudal | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| Cooling capacityat-70℃ | 0,6 kW | 1kW | 1,5 kW | 2kW | 3kW |
| Potencia calorífica | 2kW | 2kW | 2kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Internal circulating fluid volume | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| Volumen del depósito de expansión | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| Heat-conduction medium | Líquido fluorado | ||||
| Tamaño de la conexión | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Cooling water connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 1,8 m3/h | 2,5 m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| Circuit breaker | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| Dimensión cm | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| Process temperature control | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
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FLTZ -100℃～+90℃
| Modelo | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| Temperatura | -100℃～+90℃ | |
| Precisión del control de temperatura | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | |
| Control del caudal | 7～25L/min | 12～45L/min |
| Cooling capacityat-90℃ | 1,5 kW | 3kW |
| Potencia calorífica | 3,5 kW | 5,5 kW |
| Internal circulating fluid volume | 5L | 8L |
| Volumen del depósito de expansión | 10L | 15L |
| Heat-conduction medium | Líquido fluorado | |
| Tamaño de la conexión | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Cooling water connection size | ZG3/4 | ZG1 |
| Cooling water@20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| Circuit breaker | 32A | 63A |
| Process temperature control | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
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Product Advantages
- Resultados de estabilidad y repetibilidad de la producción eficientes;
- Utilización de intercambiadores de calor de placas y calentadores de tuberías para mejorar los índices de refrigeración y calefacción;
- Rango de temperatura muy amplio, sin necesidad de sustituir el medio líquido;
- Sistema totalmente cerrado que prolonga la vida útil de los líquidos conductores térmicos;
- Adoptando la bomba de accionamiento magnético, no hay problema de fugas del sello del eje;
- Tecnología de refrigeración de alta temperatura, directamente iniciar el compresor para enfriar a 300 ℃.
La bomba de frecuencia variable puede ajustar la presión hidráulica de circulación y el caudal
client output signal
Communication function
APLICACIONES
Unidad de control de temperatura del proceso FAB de semiconductores
La fabricación de semiconductores es un proceso con requisitos medioambientales extremadamente exigentes, y muchas fases del proceso son muy sensibles a la temperatura.
El control preciso de la temperatura puede garantizar un grosor uniforme y una composición exacta de las películas depositadas, mejorando así el rendimiento y las prestaciones de los chips.
for Semiconductor packaging & testing process
El proceso de envasado y ensayo de semiconductores es un eslabón clave en el proceso de producción de semiconductores, que incluye el ensayo de obleas, el envasado de chips y el ensayo posterior al envasado. Este proceso no solo requiere alta precisión y fiabilidad, sino también un estricto control de la temperatura para garantizar la calidad y el rendimiento del producto.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom chiller types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom chiller voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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