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Sobre la selección de productos de LNEYA, sus ventajas y la información sobre la industria de los chillers.

LTS -80℃~80℃

LTS -80℃~80℃ Fluoride cooling heating system

Control de la temperatura durante la fabricación de semiconductores
  • Control del caudal12L/min~45L/min
  • Precisión de la temperatura±0.1℃ @-60℃~-30℃
  • Internal circulating liquid4L~10L
  • Depósito de expansión10L~20L
  • Lugar de origenChina

Descarga de datos del producto

Parámetros del producto

Modelo LTS-802 LTS-803 LTS-804 LTS-806 LTS-808
  LTS-802W LTS-803W LTS-804W LTS-806W LTS-808W
Rango de temperatura   -80℃~-20℃
Precisión del control de temperatura ±0.1℃  -80℃~-50℃
Control del caudal  7~25L/min 12~45L/min
  The flow control adopts frequency converter adjustment, and the speed is automatically adjusted according to the feedback signal of the flow sensor. The maximum pressure of the circulating pump is 5bar.
Volumen de fluido circulante interno 4L 5L 6L 8L 10L
Volumen del depósito de expansión 10L 10L 15L 15L 20L
Visualización de la presión del sistema The pressure of the refrigeration system is realized by a pointer pressure gauge (high pressure, low pressure)
  The pressure acquisition outlet position of the circulatory system is detected by a pressure sensor and displayed on the touch screen
Controlador PLC Siemens, algoritmo de control PID difuso con algoritmo de control en cascada.
Control de la temperatura Modo de control de la temperatura de salida del fluido caloportador
  External temperature sensor: (PT100 or 4~20mA or communication setting) control mode (cascade control)
Carta de acuerdo Interfaz Ethernet Protocolo TCP/IP
Interfaz RS485 protocolo modbus RTU
Internal temperature feedback of equipment Equipment heat transfer medium outlet temperature, medium inlet temperature, refrigeration system condensation temperature, ambient temperature, compressor suction temperature, cooling water temperature (available for water-cooled equipment)
Sistema de circulación cerrado The whole system is a fully enclosed system, low temperature does not absorb moisture in the air, does not volatilize the heat transfer medium, and the low temperature automatically supplements the heat transfer medium into the circulation system
Compresor Emerson Copeland/Danfoss Scroll Flexible Compressor
Bomba de circulación German brand magnetic circulation pump
Evaporador Adopt Danfoss/Gaoli plate heat exchanger
Condensador Micro channel condenser (air-cooled)
Plate heat exchanger (water-cooled), special attention: clean factory water is required
Accesorios de refrigeración Danfoss/Emerson accessories (filter drier, oil separator, high and low pressure protector, expansion valve)
Panel de control Wuxi Guanya customized 7-inch color touch screen, temperature curve display\EXCEL data export
Seguridad With self-diagnosis function; phase sequence open-phase protector, refrigerating machine overload protection; high-pressure pressure switch, overload relay, thermal protection device and other security functions.
Tamaño de la interfaz de entrada y salida G1/2 G1/2 G3/4 G3/4 G3/4

Descripción del producto

It is widely used in the semiconductor manufacturing process to control the temperature of the reaction chamber, the temperature of the heat sink, and the temperature control of the non-flammable fluid of the heat transfer medium.

1. The pressure holding test of the medium circulation system is 7 bar.
2. Use high-quality magnetic pump without mechanical shaft seal.
Optimizar el muestreo de temperatura y la velocidad de respuesta, algoritmo de control de diseño especial, puede responder rápidamente a un control estable de la temperatura.
4. Enhance the design of the circulating pump capacity to meet the high-lift requirements of the system.
5. Continuous high-temperature cooling technology meets the requirements for stable operation when heat is loaded on the heat sink plate and requires cooling and heating constant temperature control.
6. In view of the volatile characteristics of fluorinated liquid, the joint design and system sealing design are strengthened to ensure the service life of the medium.

<trp-post-container data-trp-post-id='5556'>LTS -80℃~80℃</trp-post-container> - LTS series(images 2)
<trp-post-container data-trp-post-id='5556'>LTS -80℃~80℃</trp-post-container> - semiconductor test chiller(images 3)
<trp-post-container data-trp-post-id='5556'>LTS -80℃~80℃</trp-post-container> - Fluorinated liquid temperature control(images 4)
<trp-post-container data-trp-post-id='5556'>LTS -80℃~80℃</trp-post-container> - LTS series(images 5)

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