LNEYA Enfriadora por aire o enfriadora por agua
ZLJ -40℃~-15℃
Enfriadora por aire para el proceso de producción de semiconductores- Compresor1,5 CV~7 CV
- RefrigentR404A R507C R448
- Gama de potencia380V 50HZ puede elegir 220V
- Precisión de la temperatura±0.5℃
Descarga de datos del producto
Control de la temperatura en los procesos de producción y ensayo de semiconductores
CHILLER tipo refrigeración directa
Los requisitos de control múltiple se pueden lograr mediante la fusión de varios dispositivos en un armario más grande
Se utiliza para áreas de intercambio térmico pequeñas y gran capacidad de intercambio térmico
Detalles de configuración
| Modelo | ZLJ-41.0 | ZLJ-41,5 | ZLJ-42 | ZLJ-43 | ZLJ-44 | ZLJ-46 | ZLJ-48 |
| ZLJ-41.0W | ZLJ-41,5W | ZLJ-42W | ZLJ-43W | ZLJ-44W | ZLJ-46W | ZLJ-48W | |
| Temperatura | -40℃～-10℃ | ||||||
| Precisión del control de temperatura | ±0,5℃ control de la temperatura de evaporación | ||||||
| Método de estrangulamiento | Válvula de expansión electrónica | ||||||
| Controlador | Siemens PLC | ||||||
| Mostrar registro | Pantalla táctil de 7 pulgadas, registro de temperatura, presión del sistema y otra información | ||||||
| Componentes principales | Filtro deshidratador Danfoss, electroválvula Castor, sensor de presión Johnson Controls, ventilador EBM (refrigerado por aire), separador de aceite Danfoss/Emerson, | ||||||
| Compresor | Secop, Taikang, Emerson, Carlisle | ||||||
| Refrigerante | R404A Opcional R507C R448 | ||||||
| Refrigeración a alta temperatura | Con tecnología de refrigeración directa a alta temperatura de 150 grados, para cumplir el objetivo de capacidad de refrigeración rápida durante el funcionamiento a alta temperatura. | ||||||
| Compresor | 7/8CV | 1,5 CV | 2HP | 3HP | 4HP | 6HP | 8HP |
| Alimentación V | 220V 50HZ | 380V 50HZ Se puede personalizar 220V | |||||
Descripción del producto
Equipado con tecnología de refrigeración directa a alta temperatura de 150℃, cumpliendo el objetivo de capacidad de refrigeración rápida durante el funcionamiento a alta temperatura.
El producto expulsa y evapora directamente el refrigerante del sistema de refrigeración en el elemento de control objetivo (intercambiador de calor) para el intercambio de calor, enfriando así el objeto de control objetivo. En comparación con el fluido (gas) transportado al intercambiador de calor, la capacidad de intercambio de calor es generalmente más de 5 veces superior, lo que resulta especialmente adecuado para aplicaciones en las que el área de intercambio de calor del intercambiador de calor es pequeña pero la capacidad de intercambio de calor es grande.
El refrigerador de enfriamiento directo también se puede utilizar como captura de gas, el refrigerante pasa directamente a la trampa para evaporarse, y el gas en el espacio se captura rápidamente a través del efecto de condensación en la superficie de la trampa.
aparición
1.Interfaz de refrigerante 2.Mango portátil Mango portátil
3. Pantalla táctil 4. Asa portátil
5. Ranura para tarjetas de pantalla táctil 6. Salida de aire
Protección de la seguridad
Utilización de interruptores diferenciales, interruptores de secuencia de fases, protectores de nivel de líquido, protectores de alta y baja tensión y protectores de alta temperatura de Schneider y de otras marcas.
Interfaz de comunicación de datos
La configuración estándar incluye una PT100, una interfaz USB y una interfaz de comunicación RS485. Pueden seleccionarse otras interfaces analógicas y señales de contacto, así como una interfaz Ethernet.
Proceso de solicitud
Ampliamente aplicable a procesos de grabado, deposición química en fase vapor y deposición física en fase vapor en fábricas de obleas semiconductoras.
Grabado de obleas
Deposición química de vapor
Deposición física de vapor
ETCH
CVD
PVD
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