FLT -25℃~-40℃

Principalmente utilizado para el control preciso de la temperatura en la producción de semiconductores y los procesos de prueba, el calentamiento dentro de 40 ° C utilizando un compresor de gas caliente método de calentamiento

Enfriadores para pruebas de semiconductores

Precisión de la temperatura±0.1℃
Control del caudal25~75/min 6bar máx
RefrigentR404A
Gama de potencia380V 3kW~17kW

enfriador de refrigeración enfriador de semiconductores

CONSULTA

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Control de la temperatura en los procesos de producción y ensayo de semiconductores

Método de calentamiento dentro de 40 ℃ adopta un compresor de calefacción de gas caliente diseño totalmente cerrado, y la máquina funciona continuamente durante 24 horas

Garantizar la estabilidad y fiabilidad del flujo global del proceso de semiconductores, desde el front-end hasta el back-end.

Detalles de configuración

Modelo	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
Rango de temperatura	-25℃～40℃
Precisión del control de temperatura	±0.1℃
Control de caudal	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Control de caudal	El control del caudal se ajusta mediante un convertidor de frecuencia, y la presión máxima de la bomba de circulación es de 5 bares.
Refrigeración @-15℃	2kw	3kw	3,8 kW	6kw	7,6 kW	10kw	15kw
Circulación interna Volumen de fluido	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volumen del depósito de expansión	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
refrigerante	R404A
Refrigerante secundario	Agua, aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, etc.
Interfaz de entrada y salida	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G3/4	G1	G1
Conexión de agua de refrigeración	G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1 1/8
Caudal de agua de refrigeración@20℃	1,2 m³/H	1,6 m³/H	2,6 m³/H	3,6 m³/H	5,5 m³/H	7 m³/H	10,2 m³/H
Potencia 380 V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Temp Expansión	Añadiendo un calentador eléctrico, puede ampliarse hasta -25℃~80℃.

Descripción del producto

El dispositivo de control de temperatura de semiconductores Chiller se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en los procesos de producción y ensayo de semiconductores. Sus productos incluyen el control de temperatura de líquidos fluorados (mínimo -100 grados), el cambio rápido de temperatura de refrigeración y calefacción de gas, el mandril de cambio rápido de temperatura, la máquina de refrigeración de gas a baja temperatura (-120 grados), la unidad de refrigeración directa (-150 grados), etc. La empresa aplica varios algoritmos (PID, PID feedforward y algoritmo de árbol autoconstruido sin modelo) en el sistema para lograr una respuesta rápida y una alta precisión de control.

La información importante, como la temperatura (presión) de escape y aspiración, la temperatura de condensación, la temperatura (presión) del agua de refrigeración, la temperatura (presión) del líquido (gas) de entrada y salida, la potencia eléctrica, la corriente y la tensión de cada componente, y el nivel del depósito de agua de la enfriadora, se gestionan, supervisan y registran de forma exhaustiva mediante sensores conectados al sistema de control.

enfriadores que controlan la temperatura de procesamiento en los equipos Fab

Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.

Aplicaciones

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Precisión de temperatura ±0.1℃ Control de caudal 12~45/min
FLT-100℃~80℃ cascada de baja temperatura
Precisión de temperatura ±0.1℃ Control de caudal 12~45/min
FLTZ -30℃~40℃ Serie de conversión de doble frecuencia
Precisión de temperatura ±0.1℃ Control de caudal 15~45/min 6bar máx Rango de potencia 380V 3,5kW