LNEYA Enfriadora por aire o enfriadora por agua
FLT 5℃~-40℃
Principalmente utilizado para el control preciso de la temperatura en la producción de semiconductores y los procesos de prueba, el calentamiento dentro de 40 ° C utilizando un compresor de gas caliente método de calentamiento- Precisión de la temperatura±0.1℃
- Control del caudal25~75/min 6bar máx
- RefrigentR404A
- Gama de potencia380 V 3,5 kW~16 kW
Descarga de datos del producto
Control de la temperatura en los procesos de producción y ensayo de semiconductores
Método de calentamiento dentro de 40 ℃ adopta un compresor de calefacción de gas caliente diseño totalmente cerrado, y la máquina funciona continuamente durante 24 horas
Garantizar la estabilidad y fiabilidad del flujo global del proceso de semiconductores, desde el front-end hasta el back-end.
Detalles de configuración
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Modelo |
FLT-002 FLT-002W |
FLT-003 FLT-003W |
FLT-004 FLT-004W |
FLT-006 FLT-006W |
FLT-008 FLT-008W |
FLT-010 FLT-010W |
FLT-015 FLT-015W |
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Control de temperatura |
5℃～40℃ |
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Precisión de la temperatura |
±0.1℃ |
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Control del caudal |
10～25L/min 5bar máx. |
15～45L/min 6bar máx. |
25～75L/min 6bar máx. |
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Capacidad de refrigeración@10℃ |
6kw |
8kw |
10kw |
15 kw |
20kw |
25kw |
40kw |
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Volumen de líquido de circulación interna |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
|
Capacidad del depósito de expansión |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
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Refrigerante |
R410A |
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Refrigerante secundario |
Aceite de silicona, líquido fluorado, solución acuosa de etilenglicol, DI, etc. (la temperatura del DI debe controlarse por encima de 10 ℃). |
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Interfaces de entrada y salida |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G3/4 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
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Salida de agua de refrigeración |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
G1 |
G1 1/8 |
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Caudal de agua de refrigeración@20℃ |
1,5 m³/h |
2 m³/h |
2,5 m³/h |
4 m³/h |
4,5 m³/h |
5,6 m³/h |
9 m³/h |
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alimentación 380V |
3,5 kW |
4kW |
5,5 kW |
7kW |
9,5 kW |
12kW |
16 kW |
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Ampliación de la temperatura |
Mediante la adición de un calentador eléctrico, ampliar el rango de temperatura de -25 ℃ a 80 ℃. |
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Descripción del producto
El dispositivo de control de temperatura de semiconductores Chiller se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en los procesos de producción y ensayo de semiconductores. Sus productos incluyen el control de temperatura de líquidos fluorados (mínimo -100 grados), el cambio rápido de temperatura de refrigeración y calefacción de gas, el mandril de cambio rápido de temperatura, la máquina de refrigeración de gas a baja temperatura (-120 grados), la unidad de refrigeración directa (-150 grados), etc. La empresa aplica varios algoritmos (PID, PID feedforward y algoritmo de árbol autoconstruido sin modelo) en el sistema para lograr una respuesta rápida y una alta precisión de control.
La información importante, como la temperatura (presión) de escape y aspiración, la temperatura de condensación, la temperatura (presión) del agua de refrigeración, la temperatura (presión) del líquido (gas) de entrada y salida, la potencia eléctrica, la corriente y la tensión de cada componente, y el nivel del depósito de agua de la enfriadora, se gestionan, supervisan y registran de forma exhaustiva mediante sensores conectados al sistema de control.
El método de calefacción dentro de 40 ℃ adopta la calefacción de gas caliente del compresor.
El sistema de circulación del enfriador adopta un diseño totalmente cerrado, y la bomba de circulación adopta una bomba de accionamiento magnético.
Pruebas de helio del enfriador 100%, pruebas de las normas de seguridad 100% para garantizar la seguridad y fiabilidad del sistema.
El refrigerador hace funcionar la copiadora de forma continua durante 24 horas a 100%.
enfriadores que controlan la temperatura de procesamiento en los equipos Fab
Refrigerador de un canal refrigerado por aire, diseñado principalmente para máquinas de grabado. Se utiliza para proporcionar un control independiente de la temperatura de las paredes laterales de la cámara.
Aplicaciones
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