YQH 0℃~-75℃

Captura y recuperación de condensación de gases residuales；Purificación de gases de escape de semiconductores

Enfriadores para pruebas de semiconductores

Presión en la zona fría8 Bar
Agua de refrigeración @25℃1300L/H~3000L/H 1BAR~4BAR
Potencia3kW~8kW

recuperación de gas Fregadora local COV

CONSULTA

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Captura y recuperación de condensación de gases VOCS

Adecuado para la recuperación de diversos gases volátiles COV; Enfriamiento rápido, alta eficiencia, cumpliendo diferentes requisitos de temperatura de condensación, la baja temperatura puede alcanzar -75 ° C

¿De dónde proceden los gases nocivos?

Procede principalmente de los procesos de limpieza, nivelación de cola, eliminación de cola, grabado y desarrollo de la producción de chips o placas de circuitos.

gran volumen de escape y baja concentración de emisiones

El proceso principal de fabricación de circuitos integrados produce una gran cantidad de gases residuales ácidos, arsanos, fosfinos, orgánicos y de otros procesos. Se necesita un depurador local para la captura y recuperación de la condensación de los gases residuales.

Los gases residuales orgánicos proceden principalmente de los procesos de limpieza, CVD, fotolitografía, grabado húmedo, desgomado y difusión. Los tipos de gases residuales orgánicos incluyen principalmente alcohol isopropílico, acetona, acetato de éter monometílico de propilenglicol, lactato de etilo, acetato de butilo, aromáticos pesados, etc.

parámetro

Modelo	YQH-3520EXd YQH-3520Wexd	YQH-7520EXd YQH-7520WEXd	YQH-3530EXd YQH-3530WEXd	YQH-7530EXd YQH-7530WEXd
Flujo de gas	20m3/h	20m3/h	30m3/h	30m3/h
Temperatura mínima	-35℃	-75℃	-35℃	-75℃
Temperatura de primer nivel	0℃	0℃	0℃	0℃
Presión de la caja fría	8bar	8bar	8bar	8bar
Área de intercambio de calor	3m2*2	3m2*2	5m2*2	5m2*2
Material del intercambiador de calor	SUS304	SUS304	SUS304	SUS304
Control de la presión	Control y protección de la presión de bloqueo antihielo para la entrada y salida de las trampas de evaporación primaria y secundaria.
Control de desescarche	El control de desescarche puede realizarse en función de la supervisión de la presión
Diámetro de entrada de aire	DN40 PN16	DN40 PN16	DN50 PN16	DN50 PN16
Depósito de almacenamiento de líquidos de recuperación	10L Instalación opcional de bomba de transferencia de recuperación		15L Instalación opcional de bomba de transferencia de recuperación
Diámetro del orificio de drenaje	G1/2	G1/2	G1/2	G1/2
Sistema de control	Siemens PLC
Visualizar y grabar	Pantalla táctil en color de 7 pulgadas
Compresor	Compresor flexible Emerson Copeland Scroll (a prueba de explosiones, encapsulado en resina epoxi)
Alimentación 380V 50HZ MAX	3,5 KW	5KW	4KW	6KW
Talla	80012001850	80012001850	100015001850	100015001850
Agua de refrigeración (refrigeración por agua)20℃	1800L/H 1BAR~4BAR G3/4		3000L/H 1BAR~4BAR G3/4

principio de funcionamiento

Introducir el gas VOCS volátil en la caja fría del equipo (el dispositivo está ajustado a una temperatura de condensación de 3°C-40°C-75°C-115°C). Se pueden personalizar otras zonas de temperatura para seguir las necesidades de condensación y licuefacción paso a paso. Algunos procesos de producción continua tienen un proceso de conmutación de doble canal en la sección de baja temperatura (después de que un lado esté bloqueado por el hielo, se conmuta directamente al otro canal para el intercambio de calor y la condensación en la caja fría y, al mismo tiempo, se comprueba el bloqueo de hielo para el tratamiento de descongelación).

Personalizado 25 BAR

Resistencia a la presión del sistema de intercambio de calor

-40~-75℃

Conocer diferentes temperaturas

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MD -75℃～225℃
INQUIRY Configuration Details Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ Temperature control accuracy ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ temperature uniformity ±1℃ ±1℃ ±1℃ …
FLT-100℃~80℃ cascada de baja temperatura
Precisión de temperatura ±0.1℃ Control de caudal 12~45/min
FLTZ -30℃~40℃ Serie de conversión de doble frecuencia
Precisión de temperatura ±0.1℃ Control de caudal 15~45/min 6bar máx Rango de potencia 380V 3,5kW
FLT -45℃~40℃
Precisión de temperatura ±0.1℃ Control de caudal 25~75/min 6bar máx Refrigerante R404A Rango de potencia 380V 3,5kW~16kW