Sistema de control de temperatura de líquidos fluorados

El sistema de control de temperatura de refrigeración y calentamiento de líquidos fluorados se utiliza ampliamente en el proceso de fabricación de semiconductores para controlar la temperatura de la cámara de reacción, el control de temperatura de la placa disipadora de calor y el control de temperatura del fluido no inflamable donde se requiere transferencia de calor. Es adecuado para el proceso de fabricación de chips semiconductores, dispositivos de potencia y aviónica Control de temperatura de refrigeración y calefacción en equipos.

Los líquidos fluorados son productos de baja toxicidad, no inflamables y de alto rendimiento que no afectan al desarrollo sostenible del medio ambiente y pueden reducir las emisiones de gases de efecto invernadero. Al mismo tiempo, de acuerdo con las características volátiles del líquido fluorado, se refuerza el diseño de las juntas y el diseño del sellado del sistema para garantizar la vida útil del medio.